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判斷掃描電鏡（SEM）圖像是否失真，可以從以下幾個關(guān)鍵方面入手進行識別和判斷：

1. 圖像比例是否準(zhǔn)確（倍率/標(biāo)尺失真）

方法：對照已知尺寸樣品或標(biāo)準(zhǔn)樣本（如金屬線柵、納米球）進行標(biāo)定。

表現(xiàn)：圖像中比例尺與實際不符，如明明是100nm的顆粒卻被顯示為150nm，說明倍率校準(zhǔn)有誤。

2. 幾何變形

拉伸或壓縮現(xiàn)象：圖像某一方向（X 或 Y）被拉長或壓扁，常由于掃描速率不同步或掃描控制電路異常引起。

判別方法：觀察圓形結(jié)構(gòu)是否仍為圓形；也可以通過校準(zhǔn)樣本（如圓孔陣列）確認(rèn)。

3. 漂移引起的重影

原因：樣品在掃描過程中因熱漂移或電子束輻照造成輕微移動。

表現(xiàn)：圖像邊緣出現(xiàn)“重影”或模糊拖尾，尤其是在長時間高分辨采集中更易發(fā)生。

解決：減小掃描時間，或使用冷卻臺、樣品穩(wěn)定器。

4. 條紋/線紋失真

表現(xiàn)：圖像中出現(xiàn)周期性條紋、波紋。

可能原因：

掃描線不穩(wěn)定；

樣品充電（非導(dǎo)體）導(dǎo)致；

電源噪聲或干擾信號。

處理：改善接地、對非導(dǎo)體樣品進行鍍金/碳、降低加速電壓。

5. 顆粒感或信噪比失衡

表現(xiàn)：圖像噪聲大、顆粒感強、難以辨識邊緣。

可能原因：

探測器增益設(shè)置過高；

探測器或樣品位置異常；

信號積分時間過短。

建議：適當(dāng)延長積分時間、優(yōu)化探頭距離。

6. 聚焦問題

表現(xiàn)：圖像模糊不清、邊緣不銳利，常被誤判為失真。

判斷方法：調(diào)節(jié)工作距離和聚焦旋鈕，看是否能獲得銳利圖像。

7. 掃描磁偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)異常

表現(xiàn)：圖像整體扭曲、變形；

解決：檢查 掃描電鏡（SEM） 掃描線性電路或執(zhí)行重新校準(zhǔn)。