如何判斷掃描電鏡圖像中的條紋是否為干擾？
日期：2025-04-30
判斷掃描電鏡（SEM）圖像中的條紋是否為干擾（artifact），可以從以下幾個方面著手分析：
1. 條紋方向是否與掃描方向一致？
條紋平行于掃描線（橫向）：很可能是電子束掃描系統的干擾，如振動、電源噪聲或掃描偏轉不穩定。
條紋垂直于掃描線（縱向）：可能是樣品充電、樣品形貌引起的掃描信號響應異常。
2. 多次拍攝是否復現條紋？
固定位置、多次成像都有條紋：可能是樣品本身問題（如表面結構、污染物、刻蝕痕）。
換區域或旋轉樣品后條紋消失或改變方向：更可能是系統干擾。
3. 樣品導電性是否良好？
非導電樣品、未鍍膜：容易因電荷積累產生條紋、亮帶或漂移。
可嘗試低壓觀察或對樣品表面進行導電涂層處理（如金、碳鍍膜）。
4. 設備狀態是否穩定？
檢查以下是否存在問題：
電源穩定性（尤其是掃描偏轉電源）；
真空系統不穩定；
線纜接觸不良；
外部電磁干擾（如鄰近電機、電焊、空調等設備）。
5. 條紋是否規律重復？
周期性規則條紋：可能是電子槍、偏轉系統或信號采集系統受到周期性噪聲干擾。
隨機不規則條紋：更可能是電子束不穩定、樣品靜電或環境干擾。
簡單判斷步驟總結：
換樣品區域/旋轉樣品觀察條紋是否變化；
調節掃描速度看看條紋是否增強/減弱；
檢查樣品導電性是否良好，有無充電效應；
查看系統接地和周邊干擾源；
拍攝不同倍率/不同電壓圖像，比較條紋響應。
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作者：澤攸科技