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掃描電子顯微鏡（SEM）需要真空環境，主要原因如下：

1. 電子束傳播需要真空

避免電子與空氣分子碰撞：

電子束在空氣中會與氣體分子碰撞，導致散射，降低成像分辨率。

在高真空環境下，電子束可以保持穩定并準確聚焦到樣品表面。

2. 樣品表面保持清潔

減少污染：

空氣中的水蒸氣、灰塵、油霧等會附著在樣品表面，影響電子束與樣品的相互作用。

真空環境可以減少污染，提高成像質量。

3. 二次電子和背散射電子的檢測

減少氣體干擾，提高信號檢測效率：

電子與空氣分子相互作用可能產生不必要的電離現象，干擾探測器的工作。

低壓或高真空狀態有助于提高信號收集效率，獲得更清晰的圖像。

真空等級

根據不同的 SEM 類型，所需的真空環境也有所不同：

高真空模式（High Vacuum SEM）

真空度：10^{-3}10 Pa ～ 10^{-6}10 Pa

適用于大多數導電樣品（如金屬、半導體）。

需要嚴格的樣品前處理（如干燥、導電處理）。

低真空或環境 SEM（Low Vacuum / Environmental SEM, ESEM）

真空度：10^010 Pa ～ 10^210 Pa

適用于非導電樣品或生物樣品，可以引入一定氣體（如水蒸氣、氮氣）。

允許觀察未鍍膜的絕緣樣品，減少充電效應。

如何維持 SEM 真空環境？

預抽真空：

載物倉通過**旋片泵（前級泵）**抽氣，降低到 1 Pa 左右。

高真空抽氣：

使用渦輪分子泵或離子泵進一步降低壓力，達到 SEM 工作要求。

防止泄漏：

確保樣品倉密封完好，避免空氣滲入。

及時更換 O 形圈密封件，檢查真空系統狀態。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡在使用時是否需要真空環境。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢