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在掃描電鏡（SEM）成像中出現(xiàn)條紋或噪聲可能會(huì)影響圖像質(zhì)量，常見的條紋和噪聲類型及其可能原因如下：

1. 規(guī)則條紋（線性或周期性條紋）

可能原因：

電磁干擾（EMI）：來自電機(jī)、變壓器或其他電子設(shè)備的干擾。

環(huán)境振動(dòng)：如附近有運(yùn)行的空調(diào)、泵或機(jī)械設(shè)備。

電源波動(dòng)：SEM 供電不穩(wěn)定，導(dǎo)致掃描電子束不均勻。

掃描系統(tǒng)問題：電子束掃描不穩(wěn)定，導(dǎo)致周期性信號(hào)干擾。

解決方案：

 排查電磁干擾：關(guān)閉或遠(yuǎn)離可能干擾的設(shè)備（如大型機(jī)電設(shè)備、無線發(fā)射裝置）。

檢查電源穩(wěn)定性：使用穩(wěn)壓電源，確保 SEM 供電穩(wěn)定。

減少環(huán)境振動(dòng)：避免 SEM 放置在振動(dòng)源附近，必要時(shí)使用防震臺(tái)。

調(diào)整掃描參數(shù)：改變掃描速率、放大倍率或掃描模式，觀察條紋是否消失。

2. 隨機(jī)噪聲（顆粒狀或雪花狀噪聲）

可能原因：

探測(cè)器信號(hào)增益過高：放大器增益過大，導(dǎo)致噪聲明顯。

束流過小：電子束電流太低，導(dǎo)致信號(hào)不足。

樣品充電：非導(dǎo)電樣品未正確處理，導(dǎo)致電子積聚。

真空系統(tǒng)不穩(wěn)定：真空度不足，電子束質(zhì)量下降。

解決方案：

降低探測(cè)器增益：適當(dāng)調(diào)整增益和對(duì)比度，減少電子信號(hào)放大噪聲。

增加束流：適當(dāng)提高電子束電流，提高信號(hào)強(qiáng)度。

處理樣品充電：

濺射導(dǎo)電涂層（如金、鉑、碳涂層）。

降低加速電壓，減少電子積聚。

使用低真空模式（如 ESEM）。

檢查真空狀態(tài)：確保 SEM 維持高真空環(huán)境，避免電子散射。

3. 掃描方向相關(guān)的條紋（掃描偽影）

可能原因：

掃描速率過快：信號(hào)積分不足，導(dǎo)致條紋。

行同步信號(hào)不穩(wěn)定：掃描電子束行程不均勻。

像散未校正：電子束形狀不均勻，導(dǎo)致條紋出現(xiàn)。

解決方案：

降低掃描速率：使用慢掃描模式，提高信噪比。

校正像散：使用 Stigmator 進(jìn)行像散校正，優(yōu)化電子束聚焦。

調(diào)整工作距離：選擇適當(dāng)?shù)墓ぷ骶嚯x，提高成像穩(wěn)定性。

4. 電子束不穩(wěn)定導(dǎo)致的隨機(jī)跳動(dòng)

可能原因：

燈絲老化：電子束發(fā)射不穩(wěn)定，導(dǎo)致信號(hào)波動(dòng)。

電子槍污染：電子束不均勻，影響成像質(zhì)量。

電源噪聲：電流波動(dòng)導(dǎo)致電子束跳動(dòng)。

解決方案：

更換電子槍燈絲：如果使用時(shí)間過長(zhǎng)，考慮更換新燈絲。

清潔電子槍：定期維護(hù)，避免污染影響電子發(fā)射。

檢查電源：使用穩(wěn)壓電源，減少電流波動(dòng)的影響。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡成像中出現(xiàn)條紋或噪聲的解決方法。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢