掃描電鏡中如何減少樣品表面帶電現象？
日期：2024-10-29
在掃描電鏡（SEM）中，樣品表面帶電現象會影響成像質量和圖像對比度。以下是一些減少樣品表面帶電現象的有效方法：
1. 使用導電涂層
涂覆導電膜：在非導電材料的樣品表面涂覆一層薄薄的導電膜（如金、鉑或碳），以提供導電路徑，減少電子束照射導致的帶電現象。
選擇適當厚度：確保涂層厚度適中，既能有效導電，又不會遮擋樣品表面的細節。
2. 采用低加速電壓
降低加速電壓：使用較低的加速電壓可以減少電子束能量，從而降低表面帶電現象的發生。雖然這可能會影響分辨率，但對某些樣品來說是可行的。
3. 增加束流強度
調節束流強度：適當增加束流強度可以提高樣品表面的導電性，降低帶電現象的影響。但要注意，不要過度增加以避免樣品損傷。
4. 使用接地裝置
接地樣品：在樣品臺上接地樣品，通過導電連接將樣品與設備接地，允許電荷在樣品表面自由釋放，從而減少帶電現象。
5. 控制環境因素
降低真空度：在高真空環境下，氣體分子較少，帶電現象更為明顯。適度調整真空度，以便保持一定的氣體壓強，促進電荷的釋放。
控制濕度：適當增加環境濕度，可以增加樣品表面的導電性，降低帶電現象。
6. 優化成像條件
選擇合適的探測模式：使用背散射電子（BSE）探測模式而不是二次電子（SE）模式，后者更容易受到帶電現象的影響。
調節掃描速度：提高掃描速度，可以減少電子束在樣品表面的停留時間，從而降低電荷積累。
7. 使用輔助設備
電子束中和器：在SEM中安裝電子束中和器，能夠向樣品表面發射電子，以中和積累的正電荷，減少帶電現象。
離子束中和器：使用離子束對樣品表面進行中和，可以有效消除表面電荷。
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作者：澤攸科技
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