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在使用臺(tái)掃電鏡（SEM）分析樣品時(shí)，工作距離（working distance, WD）對(duì)觀察結(jié)果有顯著影響。工作距離是指從電子槍到樣品表面的距離。以下是工作距離對(duì)SEM觀察結(jié)果的主要影響：

1. 圖像分辨率

短工作距離：通常提供更高的分辨率。電子束在較短的路徑上保持更集中的束斑（spot size），減少了散射和能量損失，使得圖像更加清晰和細(xì)致。

長工作距離：分辨率較低。電子束在到達(dá)樣品表面之前會(huì)有更多的擴(kuò)散和散射，導(dǎo)致束斑變大，圖像分辨率下降。

2. 景深（Depth of Field）

短工作距離：景深較淺。這意味著樣品表面的高低起伏會(huì)導(dǎo)致圖像的某些部分模糊，特別是在高放大倍數(shù)下。

長工作距離：景深較大。可以同時(shí)對(duì)樣品的不同高度部分進(jìn)行清晰成像，適用于觀察具有明顯高度差異的樣品。

3. 圖像對(duì)比度

短工作距離：對(duì)比度較高。由于束斑較小，電子束的集中度高，信號(hào)強(qiáng)度較強(qiáng)，從而增強(qiáng)圖像的對(duì)比度。

長工作距離：對(duì)比度較低。電子束擴(kuò)散導(dǎo)致信號(hào)減弱，對(duì)比度降低。

4. 視場大小（Field of View）

短工作距離：視場較小。由于電子束更加集中，掃描的區(qū)域也相對(duì)較小。

長工作距離：視場較大。電子束擴(kuò)散使得掃描覆蓋的區(qū)域較大，適用于觀察大面積的樣品表面。

5. 信噪比（Signal-to-Noise Ratio）

短工作距離：信噪比較高。電子束路徑較短，受干擾較少，信號(hào)強(qiáng)度相對(duì)較高。

長工作距離：信噪比較低。電子束在長距離上傳播時(shí)受到更多的干擾，信號(hào)強(qiáng)度減弱，噪聲相對(duì)增加。

6. 樣品損傷

短工作距離：可能導(dǎo)致樣品表面更容易受電子束損傷，特別是對(duì)于非導(dǎo)電或敏感樣品。

長工作距離：樣品表面受電子束損傷的風(fēng)險(xiǎn)較小，因?yàn)殡娮邮鴱?qiáng)度分布較均勻。

7. 操作和調(diào)節(jié)

短工作距離：需要更準(zhǔn)確的對(duì)焦和定位，操作難度較高，特別是在高放大倍數(shù)下。

長工作距離：對(duì)焦和定位相對(duì)容易，適合初學(xué)者或進(jìn)行快速掃描。

實(shí)際操作建議

高分辨率成像：選擇短工作距離，特別是需要觀察樣品的細(xì)微結(jié)構(gòu)時(shí)。

大視場觀察：選擇長工作距離，適用于初步掃描和大面積樣品的快速觀察。

景深需求：對(duì)于高度不均勻的樣品，選擇長工作距離以確保不同高度部分的清晰成像。

樣品保護(hù)：對(duì)于容易受損的樣品，可以適當(dāng)增加工作距離，減少電子束強(qiáng)度集中帶來的損傷。

以上就是澤攸科技小編分享的臺(tái)掃電鏡分析樣品時(shí)工作距離對(duì)觀察結(jié)果的影響。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢