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臺式掃描電鏡(SEM)怎么用?臺式掃描電鏡使用方法?

日期:2021-03-05

臺式掃描電鏡(SEM)怎么用?要怎么使用是很多初學(xué)者經(jīng)常問的,其實臺式掃描電鏡(SEM)使用方法很簡單。臺式掃描電鏡(SEM)從原理上講就是利用聚焦得非常細的高能電子束在試樣上掃描,激發(fā)出各種物理信息。通過對這些信息的接受、放大和顯示成像,獲得測試試樣表面形貌的觀察。


原位掃描電鏡SEM.png

ZEM臺式掃描電鏡


一、使用臺式掃描電鏡拍攝低倍圖像方法
 

1、啟動并放入樣品,將真空抽至0.01并保持至開槍按鈕常亮后,然后點擊開槍按鈕。
 

臺式掃描電鏡開槍按鈕
圖一:臺式掃描電鏡開槍按鈕
 

2、按照需要設(shè)定電壓值。并將"光斑直徑"調(diào)整至"粗"或者"中",勾選"自適應(yīng)"按鈕,調(diào)整"亮度""對比度",至出現(xiàn)較為明亮的圖像。后粗調(diào)"聚焦"條,至顯示較為清晰的圖像,然后將樣品臺移動到想要拍照的樣品上。

臺式掃描電鏡步驟前后圖像對比
圖二:臺式掃描電鏡步驟前后圖像對比

 

3、低倍數(shù)下有了較為清晰圖像后。將倍數(shù)放大至大于要拍攝倍數(shù)后(比如要拍攝1000倍,放大至5000或10000),將"平均"點數(shù)切換至5,然后將光標放至"聚焦微調(diào)"圓鈕上,緩慢滾動滾輪,調(diào)整至圖像清晰位置。然后切換至"鏡組配置",依次調(diào)整四個"消像散"條,至圖像清晰為止。

用臺式掃描電鏡拍幾千倍的圖可根據(jù)樣品信號強度選擇光斑直徑中或者細來拍照。
 

使用臺式掃描電鏡調(diào)整倍數(shù)具體操作
圖三:使用臺式掃描電鏡調(diào)整倍數(shù)具體操作
 

4、上述工作完成后,將倍數(shù)調(diào)整至所需拍照倍數(shù)。選擇合適的采集幀數(shù)和平均點數(shù)后,拍照(關(guān)閉十字準心)。

 

臺式掃描電鏡調(diào)整好倍數(shù)圖
圖四:臺式掃描電鏡調(diào)整好倍數(shù)圖

 

500倍臺式掃描電鏡拍攝圖
圖五:500倍臺式掃描電鏡拍攝圖

2000倍臺式掃描電鏡拍攝圖
圖六:2000倍臺式掃描電鏡拍攝圖

5000倍臺式掃描電鏡拍攝圖
圖七:5000倍臺式掃描電鏡拍攝圖

10000倍臺式掃描電鏡拍攝圖
圖八:10000倍臺式掃描電鏡拍攝圖
 

二、使用臺式掃描電鏡拍攝高倍圖片方法

臺式掃描電鏡拍攝樣品設(shè)置
 

重復(fù)前述臺式掃描電鏡低倍拍攝步驟,找到所需拍攝的樣品。

臺式掃描電鏡調(diào)整細節(jié)
圖二:臺式掃描電鏡調(diào)整細節(jié)


將光斑直徑保持為細,開啟十字準心,調(diào)焦至能看到所需拍攝的細節(jié)后,開啟搖擺對中,調(diào)節(jié)對中條,至準心與圖像相對位置同心縮放。而后調(diào)節(jié)像散至圖像至圖像清晰處(此步驟時可將基礎(chǔ)欄中視頻設(shè)置的平均點數(shù)調(diào)整為4,以便得到清晰圖像)。

臺式掃描電鏡調(diào)整光斑
圖三:臺式掃描電鏡調(diào)整光斑


完成上述步驟后,將"光斑直徑"調(diào)至"極細"。將"平均"點數(shù)設(shè)置為5,微調(diào)聚焦旋鈕至圖像清晰處,配置好所需的拍照參數(shù)(此時可以選擇將平滑按鈕勾選)后,拍照(關(guān)閉十字準心)。

50000倍臺式掃描電鏡拍攝圖
圖四:50000倍臺式掃描電鏡拍攝圖
 

50000倍臺式掃描電鏡拍攝圖
圖五:50000倍臺式掃描電鏡拍攝圖
 

30000倍臺式掃描電鏡拍攝圖
圖六:30000倍臺式掃描電鏡拍攝圖


三、臺式掃描電鏡切換SE模式拍攝圖片方法

調(diào)整臺式掃描電鏡SE模式
圖一:調(diào)整臺式掃描電鏡SE模式


點擊"基礎(chǔ)"選項卡,點擊"se"切換se模式,輸入合適的"收集電壓"(zui大不能超過8000),等待數(shù)秒,拖動"se增益"條至合適的位置。調(diào)至zui佳位置可用se模式觀察拍照。"拍照設(shè)置"中"幀平均"拍照的效果如果不理想,可切換至"點平均"(可根據(jù)實際拍照情況切換),"點平均"拍照完成需點擊"保存"按鈕。"點平均"不受"采集幀數(shù)"和"平均點數(shù)"影響。
 

500倍臺式掃描電鏡拍攝圖
圖二:500倍臺式掃描電鏡拍攝圖
 

2000倍臺式掃描電鏡拍攝圖
圖三:2000倍臺式掃描電鏡拍攝圖
 

5000倍臺式掃描電鏡拍攝圖
圖四:5000倍臺式掃描電鏡拍攝圖
 

10000倍臺式掃描電鏡拍攝圖
圖五:10000倍臺式掃描電鏡拍攝圖
 

30000倍臺式掃描電鏡拍攝圖
圖六:30000倍臺式掃描電鏡拍攝圖
 

50000倍臺式掃描電鏡拍攝圖
圖七:50000倍臺式掃描電鏡拍攝圖
 

50000倍臺式掃描電鏡拍攝圖
圖八:50000倍臺式掃描電鏡拍攝圖


以上就是澤攸科技小編為大家介紹的臺式臺式掃描電鏡使用方法,可以拍攝低倍圖,拍攝高倍圖,SE模式圖,滿足各種不同的需求,性價比高的桌面式掃描電鏡,關(guān)于文中使用的臺式掃描電鏡產(chǎn)品價格請咨詢 


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作者:小攸


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