掃描電鏡樣品支撐基底為什么用硅片
日期：2023-03-15
掃描電鏡（SEM）通常使用硅片作為樣品支撐基底，因為硅片有以下幾個優點：
導電性好：硅片是一種導電性能良好的材料，可以避免由于樣品表面電荷積聚而產生的干擾信號。
高穩定性：硅片的物理性質穩定，尺寸精度高，不易受溫度、濕度等環境因素的影響，可以保證SEM成像的穩定性。
平整度好：硅片表面平整度高，可以避免樣品在成像過程中出現的高低起伏或者其他不規則形狀的干擾信號。
顯微分辨率高：硅片表面非常光滑，可以提高SEM的顯微分辨率，讓成像效果更加清晰。
除硅片之外，其他材料，如金屬網格、碳膜等，也可以作為SEM的樣品支撐基底。不同的材料適用于不同類型的樣品，選擇適合的樣品支撐基底可以提高SEM成像的效果。
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作者：澤攸科技
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